《电子工业纯水系统设计规范(GB50685-2011)》由中国计划出版社出版。
1总 则
2术 语
3纯水制备工艺
3.1一般规定
3.2预处理
3.3脱盐及深度处理
3.4精处理
3.5特殊水质指标的技术措施
3.6水箱、水泵
4纯水输送和分配
4.1一般规定
4.2管道设计
5纯水回收和节水
5.1一般规定
5.2纯水回收
5.3节水措施
6纯水站房
6.1一般规定
6.2设备布置
6.3管道布置
6.4土建
6.5电气
6.6采暖通风
6.7给水排水和消防
7药品贮存、计量和输送
7.1一般规定
7.2酸、碱及盐
8控制及仪表
8.1一般规定
8.2纯水系统监控系统设计选型
8.3现场控制系统及集中监控系统设计
8.4仪表设置
附录A水质全分析报告
附录B离子交换器设计参数
本规范用词说明
引用标准名录
附：条文说明
